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區第二工業區24棟A區
材料本身所具有的性能,必須通過正確的熱處(chù)理手段來達到。隻有良好的熱處理手段,才能實現我們預想的性能期望。根據(jù)塑封模具材料性能要求,塑封模熱處理手段(duàn)主要是高溫淬火、深冷處理、高溫回火,並(bìng)多次反複,通過這些不同的處理,達到最佳的模具性能。
1、高溫淬火
為了提高材料的剛性和耐磨損性,一般材料均需加熱到1030℃以上。高溫下,各(gè)種合金元(yuán)素充分溶解於奧氏體內,以便在(zài)淬火時獲得高的基體硬度,同時為了保證零件不發生脫碳氧化,相應采用了真空處理。目前半導(dǎo)體行(háng)業內使用的高速率氣淬(cuì)淬火爐,可以在高(gāo)真空條件下通過氮氣(qì)保護對工件進行(háng)加熱,既保證了工(gōng)件的脫碳氧化,又防止(zhǐ)了合(hé)金元素的蒸(zhēng)發(fā)。同時(shí)采(cǎi)用200-500Kpa範圍內可調節氣體壓力,對(duì)工件進行淬火冷卻,在保證工件充分淬透的同時又減少了(le)變形。
2、深冷處理與高溫回火
高合金鋼在淬火後,由於其馬氏體轉變點(Ms點)均(jun1)高於室溫,為(wéi)了提高硬度,保證尺(chǐ)寸穩定性,通常要(yào)進(jìn)行深冷處理(lǐ)和高溫回火,以保證殘餘奧氏體充分轉變為穩定(dìng)的回火馬(mǎ)氏體。我們將經(jīng)過真空淬火後的工件,在室(shì)溫至100℃之間進行(háng)校正,然後放入-140℃的深冷(lěng)處理箱中進行深冷。工件在不出爐的情況下,可(kě)以(yǐ)在-140℃至230℃之間進行冷熱循環(huán),保證工件不會因(yīn)為進出爐而產生變形或開裂。同時由於采用氮氣保護也(yě)避免了工(gōng)件在回火中的氧化開裂。目前對於D2類材料,我們通常在深冷設備中直接完成-140℃深冷(lěng)至230℃回火的3次循環。對於高(gāo)於230℃回火的鋼種如SAM97、ELmax、ASP23等,我們采用了真空回火爐,在抽真空後,加入(rù)99.999%的高純氮氣作為介質,通過吹風方向的(de)改變來形成對流,保證了工件的溫度均勻性,同時節省了回火時間。
3、其它輔助手段
在提(tí)高了淬火回火及深冷(lěng)處理質量的同時,我們同(tóng)時對工件的其它環節給予了充分的重視(shì),過去認為的熱處理工件(jiàn)潔淨度與處理無關(guān)的(de)觀點已經被(bèi)拋棄,增加潔淨(jìng)預(yù)處理。即將未入爐零件,通過真空清洗機進行真空去(qù)油、脫脂、幹燥。去除了工件的各(gè)類加工油汙和碎屑,保證了入(rù)爐工件不會帶入其它雜質,避免了在高溫加熱時雜質分解,汙染(rǎn)爐內環境和工件本身,從微觀上保證了工件的組織潔(jié)淨(jìng)度和處(chù)理質量的完美性,提高了工件(jiàn)的使用壽命(mìng)。
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